Обнаружение частиц в высокочистых технологических газах до 2 нм
Минимизируйте дефекты, вызванные частицами, и улучшайте выход и качество полупроводниковых устройств
В условиях высокотехнологичных процессов производства полупроводников важна каждая деталь – в том числе чистота технологических газов. Полупроводниковая индустрия требует высокой точности и контроля. Работа на масштабах, где даже незначительные дефекты могут привести к серьезным последствиям, – это объективная необходимость.
По мере того как отрасль движется к все меньшим размерам и более сложным процессам, потребность в точном контроле только растет. Этот тренд делает чистоту технологических газов основой качества и передового производства полупроводников.
Как выбрать прибор для измерений в производстве полупроводников
При выборе инструмента для мониторинга качества технологических газов необходимо учитывать три ключевые характеристики: размер частиц, уровень ложных срабатываний и скорость потока.
Размер частиц: Критически важные размеры дефектов различаются в зависимости от процессов; в одних случаях достаточно обнаружения частиц до 100 нм, в других – требуется детекция частиц менее 10 нм.
Уровень ложных срабатываний: Точность данных лежит в основе принятия решений и выполнения действий. В случае подсчета частиц низкий уровень нулевых срабатываний означает высокую точность данных, минимизирует риск ложных тревог и повышает эффективность производства.
Скорость потока: Высокая скорость отбора проб важна в технологических газах из-за их исключительной чистоты. Поскольку в газе присутствует очень мало частиц, статистическая значимость данных становится критичной. Приборы с высокой скоростью потока отбирают больший объем газа, что позволяет обнаружить больше частиц и улучшить точность подсчета, исключая "шум" в данных.
Почему стоит выбрать TSI для обнаружения частиц в производстве полупроводников?
Технология измерительных приборов TSI позволяет обнаруживать частицы в высокочистых технологических газах вплоть до 2 нм. Эта возможность обеспечивает лидирующие позиции в производстве полупроводников, способствует инновациям и снижает затраты.
Интегрируя передовые технологии обнаружения аэрозольных частиц TSI в свои производственные процессы, вы совершаете стратегическое вложение в качество, эффективность и снижение рисков. Используя наш многолетний опыт и решения для детекции частиц до 100 нм, 10 нм и 2 нм, TSI – ваш надежный партнер, помогающий предотвращать дефекты, сбои и отказы, обеспечивая высочайшие стандарты качества.
