Тестирование чистоты деталей до наноуровня
Достижение безупречной чистоты в производстве полупроводников критично для снижения дефектов, потерь выхода продукции и повышения надежности устройств
Когда речь идет о тестировании чистоты деталей в производстве полупроводников, точность играет ключевую роль. Компоненты, такие как регуляторы, массовые расходомеры, фитинги, клапаны, трубопроводы, FOUP-контейнеры и фильтры точечной очистки (POA), могут выделять частицы в линии подачи технологического газа. Это создает риск в производственном процессе, поскольку такие частицы могут привести к дефектам.
Точное тестирование чистоты деталей не только защищает производительность и целостность продукции, но также способствует эффективности, соответствию нормативным требованиям, инновациям и устойчивому развитию. По мере эволюции отрасли точное тестирование чистоты компонентов остается важным для развития критически значимых технологий производства полупроводников.
TSI является ведущим поставщиком решений для детектирования загрязнений – вплоть до 100 нм, 10 нм и 2 нм. Мы предоставляем измерительные инструменты, необходимые для предотвращения попадания даже мельчайших загрязняющих частиц, способных вызвать серьезные дефекты, при этом гарантируя высочайшие стандарты качества. Чистота деталей оказывает значительное влияние на процессы производства полупроводников (например, соответствие требованиям чистых помещений, качество конечного продукта) и должна быть приоритетной задачей.
Как выбрать измерительный прибор для контроля в производстве полупроводников
При выборе инструмента для мониторинга качества технологического газа необходимо учитывать три ключевых параметра: размер частиц, уровень ложных срабатываний и объемный расход.
- Размер частиц: Критические размеры дефектов могут отличаться в зависимости от конкретного процесса. В некоторых случаях достаточно детекции до 100 нм, в других требуется обнаружение частиц меньше 10 нм.
- Уровень ложных срабатываний: Точность данных играет ключевую роль в принятии решений и последующих действиях. В случае счетчиков частиц низкий уровень нулевого счета (нулевого фона) в приборе указывает на высокую точность данных, минимизирует риск ложных тревог и повышает эффективность производства.
- Объемный расход: Высокий объемный расход воздуха или газа особенно важен при тестировании технологического газа, поскольку он изначально очень чистый. При низком содержании частиц статистические факторы становятся критичными. Приборы с высокой скоростью потока, отбирающие больший объем анализируемого газа, фиксируют большее количество частиц, что улучшает статистику подсчета и позволяет отделить полезные данные от фонового шума, помогая принимать обоснованные решения.
Почему стоит выбрать TSI для детектирования частиц в производстве полупроводников?
Интеграция передовой технологии детектирования аэрозольных частиц от TSI в ваш процесс производства полупроводников – это стратегическое вложение в качество, эффективность и снижение рисков. Используя десятилетия опыта и предлагая решения для детекции загрязнений до 100 нм, 10 нм и 2 нм, TSI предоставляет технологию, которая значительно минимизирует дефекты, неисправности и отказы, экономя ваше время и деньги.
